Телефон: 8(925)545-16-29
Технические системы
Контрольно-измерительные приборы, КИПиА
г. Москва, ул. Беломорская, 14 к.2
office@technicalsystems.ru

Путь по сайту  : Главная - Каталог - Газоанализаторы, сигнализаторы - Спектрометры, анализаторы пыли - Спектрометры - ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П
Версия для печатиE-mail
Изолирующие соединенияИК Фурье-спектрометр ФСМ 2203

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П
Увеличить


ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П

( ПКГ «Гранат» )
Цена: Позвоните, чтобы уточнить цену

Задайте вопрос по этому товару

ТЕСТЕР ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n n+ или p p+ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений No18895-99.

Основные контролируемые параметры

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (5*1015...2*1018) ± 5*1015 см³;
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (1016...5*1017) ± 10*16 см³;
  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5-10) ±0.1 мкм, (10-200) ±1% мкм;
  • концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1...10) ±0.2 вес.%.

Достоинства метода фурье-спектроскопии

Высокая чувствительность.
Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.
Высокая производительность.
Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 с. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.
Достоверность анализа.
Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.
Бесконтактность измерений.
В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.
Автоматизация измерений.
Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.
Спектры ИК поглощения пластин кремния со слоями ФСС и БФСС.
Концентрация фосфора в слое ФСС 9.6%, концентрация бора и фосфора в слое БФСС, соответственно, 4.3% и 3.9%. Толщина слоя около 1 мкм.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СПЕКТРОМЕТРА

Спектральный диапазон 400...7800 см1
Спектральное разрешение 1, 2, 4 см1
Диаметр светового пятна на образце 6 мм
Размеры пластин 76, 100, 125, 150, 200 мм
Точность позиционирования стола 0.5 мм
Время стандартного измерения в одной точке 30...60 с
Потребляемая мощность 95 Вт
Размеры спектрометра 67x65x25 см
Вес спектрометра 37 кг

 

Спектры ИК поглощения пластины кремния, содержащей примеси междуузельного кислорода и углерода замещения.
"Разность" получена вычитанием поглощения "чистого" кремния, имеющего возможно более низкую концентрацию примесей.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с.

 

 

Приставка для измерения пропускания пластин кремния диаметром до 200 мм

Приставка для измерения пропускания пластин кремния диаметром до 200 мм

Приставка зеркального отражения 10 град. для пластин кремния диаметром до 200 мм

Выполняется разработка методик и программного обеспечения, по техническому заданию Заказчика.





Мнения покупателей:

Еще нет мнений об этом товаре.
Пожалуйста, войдите, чтобы оставить свое мнение.



Представленная на сайте информация не является публичной офертой, определяемой положениями статьи 437 Гражданского кодекса РФ и может быть изменена в любое время без предупреждения.